Sanghyeon Ju

TCAD · DUAL-METAL-GATE MOSFET

Data Lineage and DIBL Reliability

Data Lineage and DIBL Reliability

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이 문서는 프로젝트 진행 중 생성된 데이터가 어떤 단계에서 만들어졌는지 구분하고, 초기 Vtgm 기반 DIBL의 신뢰성 문제와 발표 이후 보완 과정을 기록합니다.


1. 데이터 단계 구분

Stage Purpose Main conditions Primary source
A. Scaling baseline 세 gate length에서 Single–Dual 기본 방향 비교 Lg = 0.25, 0.10, 0.028 μm results/scaling_baseline.csv
B. Scaling selected conditions 각 scale의 parameter screening 후 대표 조건 비교 NWell, LDD, SD 변수 screening results/scaling_selected_conditions.csv
C. Leakage follow-up 0.028 μm에서 GateS/GateD tunneling 추가 평가 SiO₂ 약 1.6 nm, geometry/ratio 추가 조정 results/sio2_gate_leakage.csv
D. High-K comparison 동일 EOT에서 SiO₂와 SiO₂ IL/HfO₂ 비교 EOT ≈ 1.6 nm results/high_k_comparison.csv
E. Gate-ratio study GateS/GateD 길이 비율에 따른 trade-off 6:4, 5:5, 4.5:5.5, 3.5:6.5 results/gate_ratio_tradeoff.csv
F. Post-presentation validation DIBL extraction 신뢰성 보완 corrected Vtgm, CC1/CC2, valid flag verified SVisual code

2. 가장 중요한 데이터 분리 원칙

Scaling-stage 0.028 μm

발표 15장의 scaling 및 parameter-screening 단계입니다.

대표 selected condition:

Gate DIBL SS Ion Ioff Ion/Ioff
Single 128.67 79.98 3.34e-4 3.78e-12 8.85e7
Dual 57.58 83.41 3.16e-4 3.28e-17 9.62e12

Leakage-follow-up 0.028 μm

발표 17장의 gate-leakage 추가 실험입니다. 발표자료에는 소자 비율 추가 개선으로 전체 데이터가 앞 페이지와 달라졌음을 명시합니다.

Gate DIBL SS Ion Ioff Ion/Ioff
Single 113.63 82.10 2.10e-4 2.22e-11 9.45e6
Dual 37.65 85.42 2.05e-4 2.90e-16 7.05e11

따라서 위 두 표는 같은 조건이 아닙니다.

금지되는 해석
Scaling selected condition의 Id metrics와 leakage-follow-up의 Ig metrics를 하나의 동일 simulation row로 결합하지 않습니다.


3. High-K comparison의 기준

High-K 비교는 leakage-follow-up의 SiO₂ DMG 조건과, 동일한 nominal EOT를 갖는 SiO₂ IL/HfO₂ DMG 조건을 비교합니다.

Stack EOT Physical thickness DIBL SS Ion Ioff IgTotal On, High-Vd
SiO₂ 1.6 nm 1.6 nm 37.65 85.42 2.05e-4 2.90e-16 1.8897e-9
SiO₂ IL/HfO₂ 1.5998 nm 6.14 nm 22.47 84.85 1.8418e-4 4.2916e-16 1.135e-11

High-K의 핵심 결론은 절대 leakage 예측이 아니라 동일 framework 안에서 물리 두께 증가가 tunneling current를 낮추는 방향을 확인한 것입니다.


4. Gate-ratio data의 위치

Gate-ratio 실험은 High-K EOT ≈ 1.6 nm 구조에서 진행한 별도 study입니다.

Ratio DIBL Confidence Main interpretation
6:4 19.47 normal diagnostic Ion이 가장 높지만 Ioff·SS·Ig가 상대적으로 불리
5:5 22.35 balanced reference Ion 유지와 off-state metrics 사이의 균형
4.5:5.5 2.57 low confidence 비정상적으로 낮은 DIBL outlier
3.5:6.5 56.89 normal diagnostic Ioff·Ig는 가장 낮지만 Ion 감소와 DIBL 악화

5:5는 global optimum이 아니라, 발표에서 사용한 balanced reference condition입니다.


5. 초기 Vtgm 기반 DIBL

초기 SVisual에서는 gm peak에서 linear extrapolation한 threshold를 사용했습니다.

VtgmRaw = Vgm − Id(Vgm) / gmmax

일부 조건에서 다음 현상이 발생했습니다.

Vtgm_High > Vtgm_Low

이는 일반적인 DIBL 방향과 반대인 signed threshold shift를 만들 수 있습니다. 이 값을 곧바로 우수한 소자 성능으로 해석하지 않고, threshold extraction definition의 민감성을 우선 검토했습니다.


6. 발표 단계의 신뢰성 정책

최종 발표에서는 다음 기준을 사용했습니다.

  1. DIBL 특이값은 신뢰성이 낮은 데이터로 표시
  2. 극단적인 DIBL 하나만으로 조건을 선택하지 않음
  3. SS, Ion, Ioff, Ion/Ioff와 함께 판단
  4. 절대값보다 scale과 ratio에 따른 반복 방향을 중심으로 결론
  5. 원본 값을 삭제하지 않고 오류 가능성 고찰을 보존

이 정책은 발표 16장과 22~23장에 반영돼 있습니다.


7. 발표 이후 보완 1: corrected Vtgm

최종 verified SVisual code에서는 gm extrapolation에 drain-bias correction을 추가했습니다.

VtgmCorrected = Vgm − Id(Vgm)/gmmax − Vd/2

이 값은 기존 발표 raw table을 소급해서 덮어쓰기 위한 것이 아니라, 동일 문제가 반복되는지 진단하기 위한 후속 metric입니다.


8. 발표 이후 보완 2: constant-current Vth

두 개의 current target을 사용했습니다.

CC1 = 1e-7 A/μm
CC2 = 1e-8 A/μm

처리 방식:

Why two targets?

하나의 current target이 모든 subthreshold curve에 동일하게 적합하지 않을 수 있으므로, CC1과 CC2를 diagnostic pair로 사용했습니다.


9. 최종 해석 우선순위

현재 포트폴리오는 아래 순서로 데이터를 해석합니다.

  1. simulation이 정상적으로 수렴하고 구조가 올바른지 확인
  2. threshold crossing valid flag 확인
  3. corrected Vtgm과 CC1/CC2 비교
  4. DIBL이 비단조적이거나 극단적이면 low-confidence로 표시
  5. SS, Ion, Ioff, Ion/Ioff, Ig와 함께 해석
  6. 여러 geometry에서 반복되는 방향을 최종 결론으로 사용

10. CSV 개선 필요사항

현재 공개된 CSV는 발표 및 포트폴리오의 핵심 값을 제공하지만, 모든 행에 extraction version과 valid flag가 포함된 것은 아닙니다.

향후 권장 schema:

Stage
Geometry_ID
Lg
Gate_Ratio
Stack
Vth_Method
Current_Target
Crossing_Valid_Low
Crossing_Valid_High
DIBL_Signed
DIBL_Absolute
Confidence
Source_Workbench_Node

현 단계에서는 기존 CSV를 변경해 과거 데이터가 새 추출값처럼 보이게 만들지 않고, 본 문서에서 provenance를 명확히 기록합니다.