Results and Data
결과 파일은 연구 단계가 서로 섞이지 않도록 분리했습니다.
| File | Stage | Description |
|---|---|---|
| Scaling baseline CSV | A | 0.25/0.10/0.028 μm Single–Dual baseline |
| Selected conditions CSV | B | Scale별 parameter-screening selected conditions |
| SiO₂ gate leakage CSV | C | Leakage-follow-up Id/Ig data |
| High-K comparison CSV | D | Same-EOT SiO₂ and SiO₂ IL/HfO₂ comparison |
| Gate-ratio trade-off CSV | E | 6:4–3.5:6.5 ratio raw data |
각 stage의 조건과 extraction 신뢰성은 Data Lineage and DIBL Reliability에 정리했습니다.