Sanghyeon Ju

TCAD · DUAL-METAL-GATE MOSFET

Final Conference Presentation

Final Conference Presentation

발표 정보

Item Description
Title Dual-Metal Gate를 이용한 미세 MOSFET의 SCE 및 Leakage Current 개선 효과 분석
Event 숭실대학교 차세대반도체학과 특별세션
Presenters 이선재, 주상현
Slides 26
Status Final conference presentation

발표 흐름

  1. Work-Function Engineering의 필요성
  2. 선행연구와 연구 방향 설정
  3. Dual-Metal Gate 가설과 DIBL 평가 방법
  4. SProcess 기반 GateS/GateD 구현
  5. Lg = 0.25, 0.10, 0.028 μm 검증과 조건 screening
  6. DIBL 특이값과 결과 신뢰성 검토
  7. Thin-SiO₂ gate leakage 문제 발견
  8. High-K gate stack 적용
  9. GateS/GateD 비율 변화 실험
  10. 결론, 한계와 GAA·CFET 후속 연구 방향

최종 발표자료가 이 포트폴리오의 연구 흐름과 결론 범위를 정하는 기준입니다.

AI assistance disclosure

OpenAI ChatGPT는 TCAD command 초안·수정, debugging 방향, metric-extraction logic, 발표자료 및 포트폴리오 구조화를 보조했습니다. 모든 simulation result는 Sentaurus Workbench에서 직접 실행한 결과를 확인해 사용했습니다.