Sanghyeon Ju

TCAD · pMOS PROCESS OPTIMIZATION

TCAD Source Code

TCAD Source Code

최종 보고서에 포함된 Sentaurus command를 기능별로 정리한 코드입니다. 아래 버튼을 누르면 페이지 이동 없이 VS Code형 창에서 전체 파일을 확인할 수 있습니다.

현재 공개된 코드는 보고서에 제시된 수정·추출 command입니다. 전체 mesh, physics, electrode, solve block을 포함한 원본 Workbench project command는 아닙니다.

pMOS 공정 변환

전기적 해석

선행 실습 코드

코드 흐름

SProcess modifications
→ TDR structure verification
→ SDevice negative-bias Id–Vg sweep
→ SVisual metric extraction
→ Workbench DOE comparison